QUADRA는 자동화된 고효율 3D 스캐닝 프로브 메트로로지입니다. QUADRA는 인라인 3D 프로세스 제어 메트로로지에 대한 완전히 새로운 접근 방식을 제공하여 게이트 및 FinFET 구조와 같은 가장 어려운 중요한 층에도 고율 3D 메트로로지를 비파괴적으로 제공합니다.

QUADRA is Automated High-Throughput 3D Scanning Probe Metrology. QUADRA enables an entirely new approach to in-line 3D process control metrology, providing unique non-destructive high-aspect-ratio 3D metrology on even the most challenging critical layers, such as Gate and FinFET structures.